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磁控溅射镀膜机、真空镀膜机、镀膜生产线

主要技术参数:1. 极限真空度:4.2x10-4Pa;2. 工作真空度:6.67x10-3Pa;3. 抽速:从大气抽至6.67x10-3Pa,<8分钟;4. 压升率

  • 产品单价: 200000.00元/
  • 品牌名称:

  • 产地:

    辽宁 沈阳市

  • 产品类别:

    真空镀膜机

  • 有效期:

    长期有效

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磁控溅射镀膜机、真空镀膜机、镀膜生产线
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磁控溅射镀膜机、真空镀膜机、

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真空镀膜机
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真空镀膜机

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产品参数

起订: 供货总量:
发货期限: 自买家付款之日起 天内发货 所在地: 辽宁 沈阳市
有效期至: 长期有效 品牌:

详情介绍

主要技术参数:

1.      极限真空度:4.2x10-4Pa;

2.      工作真空度:6.67x10-3Pa;

3.      抽速:从大气抽至6.67x10-3Pa,<8分钟;

4.      压升率:0.2Pa/小时;

5.      自转轴中心距:210mm;

6.      工位:20个(工件架最大自转半径为180mm);

7.      电气控制系统:PLC全自动控制,可动行多种工艺设置。

产品名称

PVD1912A

数量

真空系统

*2X-70旋片泵三台(成都南光)

*RTO·300S罗茨泵一台(上海萃曼)

*TYFB-3600分子泵三台(泰岳恒)

*阀门:GDZ3X400C高阀、前级阀、预抽阀、维持阀、截止阀为不锈钢结构GDQ100型,压差阀DDC80为上海二阀电磁阀,旁通阀为罗茨泵内安装阀;

*管道为全不锈钢结构,分子泵出口为波纹管连接。

1套

真空室

1.罐体材料为304不锈钢带夹层水冷套结构,内尺寸Φ19201200mm,内壁厚10mm,上盖板布置4对(8支)磁控靶,抽气口两侧排布两组8支弧源,门上两个观察窗;
2.工件支杆2套Ø14mm;
3.内衬板2套;
4.布气管路;
5.放气阀加装空气滤清器;
6.转架为下转架,带屏蔽罩。

1套

偏压电源

脉冲逆变PLS50KW(珠海盛普)

1台

中频电源

中频逆变MF40KW(珠海盛普)

8台

弧电源

直流逆变DC160A(深圳瑞凌)

8台

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