华商宝

北京晶伏华控电子设备有限公司专业生产、供应的：扩散炉，扩散炉炉体，供太阳能电池片生产线上156mm×156mm/125mmX125mm方片扩散、氧化、退火等工艺使用。具有四套独立的工艺炉管。

产品描述：
◆关键件全部采用进口件，具有高可靠性。
◆采用PC作为控制机，对炉温、气体流量、闸门动作进行自动控制，并管理全部工艺时序  
◆具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。
◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。
◆控温精度好，温区控温稳定性好。
◆新型炉体设计结构，保证工艺过程中温区温度的快速稳定，更适合于连续性大规模生产。
◆闭管式扩散系统更洁净、更环保。 
主要技术指标:    
◆工作温度：300~1300℃
◆有效口径 根据用户扩散片确定，可订制
◆恒温区长度：1080mm（可根据用户要求定制）
◆温区精度(静态闭管测试)：
      600℃＜工作温度＜1200℃：±0.5℃
      300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃
◆单点温度稳定性(静态闭管测试)：
      600℃＜工作温度＜1200℃：±0.5℃/24h
      300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃/24h
◆温度斜变能力：
      最大可控升温速度(300～1300℃)：15℃/min
      最大降温速度(1300～900℃)：5℃/min
◆气体流量设定精度： ±2％FS
◆气路系统气密性：1×10-7pa.m3/s
◆自动送料装置行程：~2000mm
      速度：5~1000mm/min
      SiC浆承重19kg
◆装片数量400片/管
◆净化台洁净度100级（10000级厂房）
◆三相五线制380V±10%，50Hz±10%Hz；
◆冷却水：2～4Kgf/cm2，～8L/min