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※产品用途：
CNT真空管式气相沉积炉主要为高等院校，科研院所等单位的实验室选提供具有真空、可控气氛及高温的试验环境，应用在半导体,电子陶瓷产品、纳米技术、碳纤维、高温热解低温沉淀(CVD)、镀膜、石墨烯等新材料新工艺领域。
※产品结构：
1、炉膛材料采用进口陶瓷纤维，呈现温场均衡、表面温度低、升温速率快、节能等优点；
2、电热元件采用进口高电阻合金，表面负荷高，发热速度快；
3、炉体两端采用不锈钢密封法兰，耐高温、耐腐蚀；
4、保护管采用进口石英管 ；
5、炉体采用双层空气隔热技术，配有自动冷却风扇，降低炉体外壳温度；
6、控制系统采用进口40段程序控温，控温精度±1℃，移相触发、可控硅控制；
7、真空系统 6.67pa×10-3pa( 分子泵机组或扩散泵)
8、通入气体种类：氮气、氩气、氢气、甲烷等