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产品简介:
应用行业:半导体、太阳能、液晶面板制造等行业，或者其他一些有超高纯流体要求的行业.
应用流体:特气二次配管系统，设备和机台里面的超高纯气体、易燃易爆气体以及有毒气体等特种电子气体.
最高工作压力：60-80PSI
最大流量：对于氮气，在压力为80PSIG的条件下，最大流量2.7 scfm
最高工作温度：121℃
膜片密封和CTFE阀座致使在氦检的时候最大泄漏率也只达到1x 10 scc/s.
内侧和阀座旁边均经过了100%氦检.
连接尺寸:3/8" 1/2"
在10级洁净厂房吹扫并最终包装.
JSK真空发生器