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ST5030-SL简介
·标准模型
·工业规格
·自动的X-Y平台
·自动调焦
·半导体和裂变产物探测
产品规格
尺寸：500 x 750 x 650 mm
重量：80Kg
类型：自动
测量型号：≤ 4"
测量方法：无连接的
测量原理：反射计
特征：测量迅速，操作简单
非接触式，非破坏方式
优秀的重复性和再现性
2D/3D 映射和造型
自动机械活动控制
电荷耦合器件照相机
自动调焦
产品特征
活动范围：300mm x 300mm
测量范围：100?~ 35?(Depends on Film Type)
光斑尺寸：40?/20?,4?(option)
测量速度：1~2 sec./site (fitting time)
应用领域：All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Large Size Wafer Measure
选择：Reference sample(K-MAC or KRISS or NIST)
Anti-vibration table
接物镜转换器：Quintuple Revolving Nosepiecs
焦点：Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附带照明：12v 100W Halogen Lamp
供应薄膜测厚仪