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产品特色
采用高优质的原生多晶硅料
确保产品有合适的电阻率
完美的晶体结构及良好的电学性能
产品参数
产品规格 | 6'' | 6．5'' | 8'' |
制备方式 | CZ | ||
导电型号 | P | ||
掺杂剂 | B | ||
晶向 | <100>±2° | ||
电阻率 | 1.0~3.0Ω.cm | ||
少子寿命 | ≥8μs | ||
氧含量 | ≤20ppm | ||
碳含量 | ≤1ppm | ||
直径 | ≥∮153mm | ≥∮168mm | ≥∮203mm |
电阻率反翘 | 不允许 | ||
崩边 | 不计入有效长度 | ||
裂纹 | 不计入有效长度 | ||
双晶/孪晶 | 不计入有效长度 | ||
位错密度 | ≤3000个/cm2 | ||
孔、洞 | 不允许 |
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