深圳市盛金灵科技有限公司

蓝宝石衬底（2“ 和  4”  6“ 8”）

options including C plane , A plane , R plane and M plane , in diameter
range  from 1" to 8" , square substrate is also available as well , size from
10 x 10 mm to 100 x 100 mm . Substrate are produed as per SEMI standards
it has good surface finish Ra < 5A and high cleanliness , SWI can offer epi
ready grade sapphire wafer for your epitaxial growth . Sapphire wafer are
produced by Czochralski method , due to it's high strength, high anti-corrosion
high anti-abrasion , low dielectric loss and good electrical insulation , single
crystal  sapphire wafer plays an increasingly important role as a material for
blue LED and high Tc superconductor and microwave applications.

Sapphire Wafer Features : High working temperature                                                                                        Good thermal conductivity                                                                                        Superior mechanical properties                                                                              High anti corrosion                                                                                                    Stable dielectric constant & low dielectric loss                                                      Excellent light transmission

Sapphire Wafer Applications : Blue LED substrate                                                                                                   Superconductor substrate                                                                                        Electronics and optoelectronics                                                                              UV and IR optics

  蓝宝石衬底有许多的优点：首先，蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好；其次，蓝宝石的稳定性很好，能够运用在高温生长过程中；最后，蓝宝石的机械强度高，易于处理和清洗。因此，大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。

　　使用蓝宝石作为衬底也存在一些问题，例如晶格失配和热应力失配，这会在外延层中产生大量缺陷，同时给后续的器件加工工艺造成困难。蓝宝石是一种绝缘体，常温下的电阻率大于1011Ω·cm，在这种情况下无法制作垂直结构的器件；通常只在外延层上表面制作n型和p型电极（如图1所示）。在上表面制作两个电极，造成了有效发光面积减少，同时增加了器件制造中的光刻和刻蚀工艺过程，结果使材料利用率降低、成本增加。由于P型GaN掺杂困难，当前普遍采用在p型GaN上制备金属透明电极的方法，使电流扩散，以达到均匀发光的目的。但是金属透明电极一般要吸收约30%~40%的光，同时GaN基材料的化学性能稳定、机械强度较高，不容易对其进行刻蚀，因此在刻蚀过程中需要较好的设备，这将会增加生产成本。　　蓝宝石的硬度非常高，在自然材料中其硬度仅次于金刚石，但是在LED器件的制作过程中却需要对它进行减薄和切割（从400nm减到100nm左右）。添置完成减薄和切割工艺的设备又要增加一笔较大的投资。　　蓝宝石的导热性能不是很好（在100℃约为25W/（m·K））。因此在使用LED器件时，会传导出大量的热量；特别是对面积较大的大功率器件，导热性能是一个非常重要的考虑因素。为了克服以上困难，很多人试图将GaN光电器件直接生长在硅衬底上，从而改善导热和导电性能。

盛金灵科技有限公司（盛金灵光学研究所）是一家集研发、生长、加工于一体的专业固体激光晶体和蓝宝石生长和加工企业。公司下设光学晶体部，蓝/红宝石加工部和市场销售部。