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北京晶伏华控电子设备有限公司

扩散炉,真空炉,马弗炉,遂道炉,氢气炉,CVD,扩散炉炉炉体,自动化工控,水处理...

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JFHK卧式扩散炉炉体
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产品: 浏览次数:5567JFHK卧式扩散炉炉体 
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详细信息
      北京晶伏华控电子设备有限公司生产的扩散炉炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中罐式热壁系统的加热装置。分为卧式、立式两种。可与美国TEMPRESS、THERMCO,荷兰ASM,英国BTU,日本TEL等国外多种型号扩散炉配套(替代进口),采用国外先进加工工艺,选用进口材料,可处理2~8英寸硅片的扩散工作。

 

炉体材料:

◆加热丝:Φ8~10mm康泰尔/吉泰安高温电热合金丝。

◆绝缘子:采用99瓷制作,尺寸标准

◆保温棉:英国摩根生产的高温保温材料

◆外壳:304不锈钢板

◆把口环:陶瓷纤维磨具成型,既保温,又有一定机械强度

炉体参数:

◆工作温度:≤1300℃

◆恒温区长度:500mm~1080mm

◆炉体内径:2~8英寸

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