ZD-1300L双门高真空镀膜机
<一>规格及技术规范1.设备采用立式双开门结构:每只大门均备有一套可公自转机构。配套挂工件轴数由6轴至12轴均可,用户可自定具体轴数。每只大门同时配备蒸发机构。2.真空室内腔规格尺寸为F1300 x1500 mm3.设备配ZJ-800真空机组:其中包括A: K-600T凸腔油扩散泵一台,用功耗为12 KW。B: ZJ-600罗茨泵一台,功耗为5.5 KW。C: H-150滑阀泵一台,功耗为15 KW。D: 2X-8型旋片泵一台,功耗为1.1 KW。抽真空周期不大于7分钟(空载情况下)4.蒸发采用步进蒸发形式,功耗为15 KW。(注:步进式蒸发即预先设定一个电压段(铝丝预熔段)。再跳到下一个电压段(熔态铝蒸发段)。5.全套设备配用功率为50 KW。6.电控具备手动/自动双程式控制功能。采用三菱PLC程序控制器自动控制。自动程序中各抽真空段及蒸发镀膜程序均由真空度控制。7.真空室内腔配备不锈钢衬板(便于清洗),真空室内零部件大部分用不锈钢材料制成。
8、可以各类型塑料,玻璃器皿。
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