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1.工作臺：
:花崗岩結構，著名的“泰山青”花崗石工作臺及三軸導軌,儀器全尺寸(1100×1400×2300)mm。
:Y軸採用整體燕尾式導軌，有效消除了運動扭擺，保證了測量精度及其穩定性
:Z軸採用氣動平衡，並具有自保護裝置，提高了Z向的運動特性
:先進的柔性同步齒型帶傳動,無間隙，高剛性
:高精度高氣膜剛性的自清潔式預載荷氣浮軸承
三軸均採用大功率驅動器、電機及新型雙級帶減速器，確保傳動準確，迅速
:承載重量 300 kg,儀器總重量800kg。
:Ｘ、Ｙ、Ｚ三軸配備日本SANYO伺服馬達驅動。
:Ｘ、Ｙ、Ｚ三軸配備英國RENISHAW光學尺,解析度0.5um。
:Ｘ、Ｙ、Ｚ三軸移動速度：500mm/s
:英國RENISHAW 三軸搖杆控制
:氣浮軸承傳動方式
:量測範圍Ｘ：500mm Ｙ：600mm Ｚ：400mm。 :
2.探測系統：
:英國RENISHAW MH20I手動調角測頭
:英國RENISHAW TP20標準下半組
:英國RENISHAWф1，2，3，4測針各一
:英國RENISHAW 20mm、40mm加長杆各一
3.校正系統：
:英國RENISHAW標準校正球
4.控制驅動系統：
:英國RENISHAW FUSION T3控制驱动系統
5.電源系統：電壓 220 VAC
頻率 50 Hz 功率：單相。
最大電流 10 AMPS
最大連續功率900瓦
6.工作環境：工作環境溫度：18℃－22℃
最大溫度變化率： 1 ℃/小時
濕度： 40-65﹪
振動：最大 0.005 克(低於 10 Hz)
(二)電腦：（DELL電腦）1. Pentium雙核CPU
2. 2G RAM DVD-ROM
3.硬碟 500.0 GB
4.螢幕類型： 19液晶顯示器
5.作業系統： Windows XP
6.鍵盤： 101 鍵 滑鼠：光學式 2 按鍵,捲軸功能
(三)軟體：美国Nikon IQ CMM-Managerfor WINDOWS™ 測量軟體（功能見附件一）
(四)精度：
1. Ｘ、Ｙ、Ｚ軸： 全行程精度(2.5+L/300)um
2. 重複精度＜1um