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| 项目/型号 | DTP-1000AE | DTP-1000B | DTP-3000A | DTP-3000B |
| 主轴精度 | ±0.025μm | ±0.0125μm | ±0.035μm | ±0.02μm |
| 系统精度 | ≤0.06μm | ≤0.03μm | ≤0.08μm | ≤0.05μm |
| 工作台有效直径 | ф150mm(可扩展) | ф220mm(可扩展) | ||
| 承载重量 | 20kg | 40kg | ||
| 测量高度 | 200mm（可扩展） | |||
| 最小内径 | ф5mm(最小可测ф1mm需配小测针) | |||
| 工作台 | 调心调平工作台 | |||
| 传感器分辨率 | 0.01μm | |||
| 转速 | 5转/分 | |||
| 可选配件 | 各种规格宝石测针，精密超薄卡盘 | |||