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PFC碳载纯化装置工作原理在一定温度下，氮气中的残氧与碳载催化剂提供的碳发生氧化反应，生成二氧化碳，经变压吸附工艺去除，再经过高精度过滤器后，得到高纯度氮气。技术特点稳定性好，氧含量严格控制在5ppm以下。纯度高，氮气纯度≥99.9995%。含水量低，大气露点≤-60℃。不含氢适用于对氢、氧有严格要求的工艺。技术指标氮气产量：10～800 Nm3/h 氮气纯度：≥99.9995% 露点：≤-60℃ 氧含量：≤5ppm 含尘量：≤0.01μm
空分设备、制氮机纯化装置