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型号：FM-CVD 系列
本装置用2.45GHz微波激发Φ50mm石英管腔内的稀薄气体，产生稳态等离子球，除了开设等离子体基本知识技能实验课之外，还可完成等离子体化学沉积、等离子体气相刻蚀等实验，用以制备金刚石膜或其它多种功能薄膜，或制备小临界尺寸超大规模集成电路。本装置是由微波、真空及供气、水冷等3个独立系统协调匹配而成的，适用于大学物理、化学、材料等学科的学生实验和教师科研。
尺度:1.4×1.5×0.6m3;重量：100kg
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