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高速真空镀膜装置 VPC-1100 |
VPC系列／高速真空镀膜装置 |
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| 规格参数 |
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型 号 | VPC-1100 | |
| 真空性能 | 极限压力 | 4.0 × 10-4Pa 1.3 × 10-4Pa (使用液氮时) |
排气时间 | 4.0 × 10-3Pa/10min 10-4Pa/10min (使用液氮时) | |
| 真空舱 | 钟罩尺寸 | 玻璃钟罩 （直径390mm × 350mm(H)) |
馈通圈 | 20个端口（14侧面、6底面） | |
标准基板・最大尺寸※1 | □50mm ・ □220mm（最大） | |
| 供电系统 | 蒸发电极结构 | 3点式 |
蒸发电源 | SEREM “PSE-150C”，0 – 10V ，150A (最大) | |
| 排气系统 | 主泵※2 | 油扩散泵（水冷） 1100 L/sec |
液氮冷阱 | 有 | |
前级泵 | 油旋片真空泵 100 L/min ×2 | |
油雾过滤器 | 可选 | |
| 操作系统 | 主阀门 | 瓣阀 |
副阀门 | 三向切换阀 | |
自动渗漏阀 | 可选 | |
控制 | 手动控制 | |
| 控制系统 | 皮拉尼真空计 | GP-1G |
电离真空计 | 可选 | |
| 外形 | 尺寸（主体） | 1235mm(W) × 836mm(D) × 2155mm(H) |
尺寸（蒸发电源） | 安装在设备的主体 | |
重量（主体） | 313kg | |
重量（蒸发电源） | 安装在设备的主体 | |
※1: 不考虑基板最大尺寸时的膜厚分布值。
※2: 可以安装涡轮分子泵（TMP）。
| 条 件 |
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型 号 | VPC-1100 | |
| 电源需求 | 主体 | 三相, 200V, 5.0kVA |
主体 | 单相, 100V, 1.0kVA | |
| 接地端子 | D级（接地抗阻/100Ω 或更低） | |
| 附件 | 主体 ： 三相，200V | 乙烯绝缘软电缆（R3.5-4帯端子） 4m |
主体 ： 单相，100V | 乙烯绝缘软电缆（带插头） 4m | |
| 用水需求 | 1.5L/min（水温：低于20-25℃，水压：200kPa） | |
| 附件 | Rp1/4 (带"Kantouch"软管接头) | |
| 推荐软管※ | 蒂托轮编织软管（内径9mm×外径15mm） | |
※ 冷却水管由客户自己准备。
| 外形图 |
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VPC-1100 |
蒸发电源 SEREM |
| 馈通圈 |
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| 标准构造 |
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※根据研究和开发的目的、可以变更。
| 可选部件 |
※如果您单击一个选项，您可以看到这个选项中的内容。 | 向前头页 |