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优质真空磁控溅射镀膜电源 磁控溅射设备配套电源 苏州溅射电源
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产品: 浏览次数:5389优质真空磁控溅射镀膜电源 磁控溅射设备配套电源 苏州溅射电源 
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详细信息
产品简介

本公司生产的真空镀膜电源(真空蒸发镀膜电源和真空溅射镀膜电源)
有以下特点:1、恒压,恒功率
      2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能, 具有极佳的负载匹配能力。
      3、工艺重复性好。
      4、提高成膜速度, 实现高质量的溅射膜层。

 
电源类型

三相桥式整流

六相双反星形整流

高频开关直流电源

体积

一般

较大

较小

功率因数

随导通角变化

0.5-0.9

随导通角变化

0.5-0.9

始终≥0.92

电源效率

0.86左右

0.88左右

≥0.92

谐波含量

较大(导通角小时较大)

一般(导通角小时较大)

较小(功率大小基本不变)

节能效果

一般

较好

噪音

一般

较大

成本

一般

比较高

比较高

 
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