盐城博硕真空设备有限公司

一、        主要技术指标1.机组外形尺寸（长×宽×高）：            545×525×9402.旋片泵抽速：                                4 L/S3.旋片泵极限真空：1）开气镇：                        优于6×10-1 Pa2) 关气镇：                        优于6×10-2 Pa4.旋片泵功率：                             0.55 kw5.扩散泵加热功率：                          0.6 kw6.系统极限真空：                         ≤6.7×10-4 Pa7.系统抽气速率：                             300  L/S8.使用电源：                        单相220 V   50 Hz     本系统由一台K-100油扩散泵(图中P1), 一台2XZ-4C旋片泵(图中P2)，一只DYC-JQ25电磁真空带充气压差阀（图中V4），二只GI-32手动蝶阀（图中V2、V3），一只GI-100手动蝶阀（图中V1），一些管道和波纹管组成。本系统具有抽速大、抽气时间短、噪音低、振动小、移动方便、外形美观等特点。系统示意图  (见单页系统图)                 三、        操作规程1.              开机前，仔细阅读各泵的使用说明书，并按说明书检查各泵，无误后接通   电源，调整好扩散泵冷却水量、水温（水温≤15℃）。2.   机组首次使用时首先确保系统所有阀门处于关闭状态！开旋片泵，电控系统会自动打开V4阀，手动打开V2、V3阀，当系统压力和扩散泵泵内压力小于30Pa后，接通扩散泵加热丝电源,预热时间约为30分钟，当系统压力和扩散泵泵内压力小于5Pa后，关闭V2阀，打开V1阀进行接系统工作，直至满足工艺使用要求！备注：机组初次使用时当系统压力小于5×10-2Pa后，进行系统高真空除气（按下复合真空计除气按钮，除气时间厂家已经设置好，如无特殊情况请勿调整）直到满足系统要求。3.   连续性使用：当上一次使用完后，紧接着进行下一次工作（<1h），两台泵都无需停，关闭V1、V3阀，打开V2阀，进行接系统工作，当系统压力小于5Pa后，打开V3阀，关闭V2阀，打开V1阀，直到满足系统要求。                                                             4.      系统停止工作：关闭V1阀，切断扩散泵加热电源，待扩散泵完全冷却后（约≤25度），关闭V3阀，切断旋片泵电源，扩散泵冷却水源。5.      间隔一段时间（＞1小时）不使用后，如需要重新使用设备，可按上述顺序重复操作。