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发货期限: 自买家付款之日起 天内发货 | 所在地: 辽宁 沈阳市 |
有效期至: 长期有效 | 品牌: |
详情介绍
主要技术参数:
1. 极限真空度:4.2x10-4Pa;
2. 工作真空度:6.67x10-3Pa;
3. 抽速:从大气抽至6.67x10-3Pa,<8分钟;
4. 压升率:0.2Pa/小时;
5. 自转轴中心距:210mm;
6. 工位:20个(工件架最大自转半径为180mm);
7. 电气控制系统:PLC全自动控制,可动行多种工艺设置。
产品名称 | PVD1912A | 数量 |
真空系统 | *2X-70旋片泵三台(成都南光) *RTO·300S罗茨泵一台(上海萃曼) *TYFB-3600分子泵三台(泰岳恒) *阀门:GDZ3X400C高阀、前级阀、预抽阀、维持阀、截止阀为不锈钢结构GDQ100型,压差阀DDC80为上海二阀电磁阀,旁通阀为罗茨泵内安装阀; *管道为全不锈钢结构,分子泵出口为波纹管连接。 | 1套 |
真空室 | 1.罐体材料为304不锈钢带夹层水冷套结构,内尺寸Φ19201200mm,内壁厚10mm,上盖板布置4对(8支)磁控靶,抽气口两侧排布两组8支弧源,门上两个观察窗; | 1套 |
偏压电源 | 脉冲逆变PLS50KW(珠海盛普) | 1台 |
中频电源 | 中频逆变MF40KW(珠海盛普) | 8台 |
弧电源 | 直流逆变DC160A(深圳瑞凌) | 8台 |
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