| 起订: 1 台 | 供货总量: |
| 发货期限: 自买家付款之日起 天内发货 | 所在地: 江苏 南京市 |
| 有效期至： 长期有效 | 品牌： |
详情介绍
设备说明：JIL-1000型真空镀膜机是立式单开门非平衡磁控反应溅射镀膜机。此设备所沉积的膜层在致密度、均匀度、纯度、硬度等方面均有提高。广泛应用于手表、眼镜、通讯、电子、机械、装饰和交通航空等领域的高档装饰和功能性薄膜。 设备特点
本真空镀膜机镀膜室、阀门、管道均采用不锈钢制造，立式、单开门结构；
1、沉积速率快，温升小，能较好抑制打火及靶中毒现象；
2、溅射释放的高能量使膜层密度和附着力有显著提高；
3、触摸屏 PLC,可实现全自动控制，自动/手动随时切换；
4、镀膜室容积大，装载量大，生产效率高。
5、工件架采用公转结构，可设置自动正反转，产品均匀性好。
6、整机配置合理，抽气速率快，噪声小，耗能低。
7、可根据客户要求配多套靶源
主要技术参数：
●极限真空
5.0 X 10-4Pa
●抽气时间
2 X 10-2Pa≤8min(空载)
●镀制硬膜、黑膜 （膜厚1μm）制程时间大约60分钟左右每炉。
●工件转速1-15r/min连续可调。
●沉积速率
Ti≥500nm/min
●功
率
总功率约80KW
●耗 水 量
35m3/h
●设备毛重3500Kg,设备尺寸约5 X 6 X2.3m
设备配置：镀膜室 真空室结构不锈钢制造，立式，单开门真空室规格Φ1000 X 1000mm工件架Φ800 X 850 mm抽气系统（普通配置）机械泵2X-70，罗茨真空泵ZJ-300，油扩散泵KC-500，维持泵2X-8充气系统多路质量流量控制仪供气，配备有SMC隔断阀、流量计显示仪溅射电源中频溅射电源可配多套脉冲偏压电源1套电控触摸屏 PLC，自主设计控制方式镀膜工艺可存储、更换
本真空镀膜机镀膜室、阀门、管道均采用不锈钢制造，立式、单开门结构；
1、沉积速率快，温升小，能较好抑制打火及靶中毒现象；
2、溅射释放的高能量使膜层密度和附着力有显著提高；
3、触摸屏 PLC,可实现全自动控制，自动/手动随时切换；
4、镀膜室容积大，装载量大，生产效率高。
5、工件架采用公转结构，可设置自动正反转，产品均匀性好。
6、整机配置合理，抽气速率快，噪声小，耗能低。
7、可根据客户要求配多套靶源
主要技术参数：
●极限真空
5.0 X 10-4Pa
●抽气时间
2 X 10-2Pa≤8min(空载)
●镀制硬膜、黑膜 （膜厚1μm）制程时间大约60分钟左右每炉。
●工件转速1-15r/min连续可调。
●沉积速率
Ti≥500nm/min
●功
率
总功率约80KW
●耗 水 量
35m3/h
●设备毛重3500Kg,设备尺寸约5 X 6 X2.3m
设备配置：镀膜室 真空室结构不锈钢制造，立式，单开门真空室规格Φ1000 X 1000mm工件架Φ800 X 850 mm抽气系统（普通配置）机械泵2X-70，罗茨真空泵ZJ-300，油扩散泵KC-500，维持泵2X-8充气系统多路质量流量控制仪供气，配备有SMC隔断阀、流量计显示仪溅射电源中频溅射电源可配多套脉冲偏压电源1套电控触摸屏 PLC，自主设计控制方式镀膜工艺可存储、更换
网友评价 共0条 [查看全部]