型号: 石英管式微波等离子体装置 DM-CVD6 | |
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发货期限: 自买家付款之日起 天内发货 | 所在地: 北京 |
有效期至: 长期有效 | 品牌:双旭 |
详情介绍
型号:FM-CVD 系列
本装置用2.45GHz微波激发Φ50mm石英管腔内的稀薄气体,产生稳态等离子球,除了开设等离子体基本知识技能实验课之外,还可完成等离子体化学沉积、等离子体气相刻蚀等实验,用以制备金刚石膜或其它多种功能薄膜,或制备小临界尺寸超大规模集成电路。本装置是由微波、真空及供气、水冷等3个独立系统协调匹配而成的,适用于大学物理、化学、材料等学科的学生实验和教师科研。
尺度:1.4×1.5×0.6m3;重量:100kg
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