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石英管式微波等离子体装置 DM-CVD6【价格 原理 参数

'【价格 原理 参数 说明书品牌】型号:FM-CVD 系列 本装置用2.45GHz微波激发Φ50mm石英管腔内的稀薄气体,产生稳态等离子球,

  • 产品单价: 78000.00元/
  • 品牌名称:

    双旭

  • 产地:

    北京

  • 产品类别:

    离子风机

  • 有效期:

    长期有效

  •  
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  • 产品详情
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产品参数

型号: 石英管式微波等离子体装置 DM-CVD6
起订: 1 供货总量:
发货期限: 自买家付款之日起 天内发货 所在地: 北京
有效期至: 长期有效 品牌:双旭

详情介绍

'【价格 原理 参数 说明书品牌】

型号:FM-CVD 系列
    本装置用2.45GHz微波激发Φ50mm石英管腔内的稀薄气体,产生稳态等离子球,除了开设等离子体基本知识技能实验课之外,还可完成等离子体化学沉积、等离子体气相刻蚀等实验,用以制备金刚石膜或其它多种功能薄膜,或制备小临界尺寸超大规模集成电路。本装置是由微波、真空及供气、水冷等3个独立系统协调匹配而成的,适用于大学物理、化学、材料等学科的学生实验和教师科研。
尺度:1.4×1.5×0.6m3;重量:100kg

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