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气体回收装置是对氢气、氮气、氩气和氦气进行回收再利用。采用该系列装置是一项降低生产成本，节约能源，提高经济效益的有力措施。
氢气回收装置主要用于钨钼行业还原工序排出的废氢，收集废氢后进入预处理系统，经增压后由冷却器冷却，汽水分离器分离水份，然后进入纯化装置主体部分对氢气进行精制处理，经处理后的氢气中含氧量小于等于5PPM，水含量小于等于10PPM。氢气回收装置分为中压回收和常压回收，中压回收气气的增压由压缩机进行，而常压回收则由罗茨风机来完成。
氩气回收纯化装置是对区熔单晶硅炉排出的氩气进行回收处理通过膜片压缩机稳压器进入氩气纯化装置主体部分进行纯化处理，使氩气纯度达到99.999%以上。
氮气、氦气回收装置一般按照用户要求，以非标准型号提供，其纯度为99.999%以上。