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双管卧式高温扩散炉、扩散炉价格
高温扩散炉扩散炉应用行业扩散炉应用:应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池、半导体器件的扩散、氧化退火、烧结等工艺,也可做为磁性材料的烧结工艺,还可适用于机械行业的淬火、冶金业稀土的烧结工艺。扩散炉特点: 1主机为水平一至四管炉系统构架,独立完成不同的工艺或相同工艺 2工业计算机控制系统,对炉温、进退舟、气体流量、闸门等动作进行自动控制 3采用悬臂送片器:操作方便、无摩擦污染等 4关键部件均采用进口,确保设备的高可靠性 5工艺管路采用进口阀门管件组成气密性好、耐腐蚀、无污染(管路均采用EP级电抛光管路),流量控制采用质量流量计(MFC)进口 6控温精度高,温区控温稳定性好; 7具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能
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