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详情介绍
L4513、L4514系列高温扩散炉扩散炉应用行业扩散炉应用：应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池、半导体器件的扩散、氧化退火、烧结等工艺，也可做为磁性材料的烧结工艺，还可适用于机械行业的淬火、冶金业稀土的烧结工艺。
扩散炉特点：
1主机为水平一至四管炉系统构架，独立完成不同的工艺或相同工艺
2工业计算机控制系统，对炉温、进退舟、气体流量、闸门等动作进行自动控制
3采用悬臂送片器：操作方便、无摩擦污染等
4关键部件均采用进口，确保设备的高可靠性
5工艺管路采用进口阀门管件组成气密性好、耐腐蚀、无污染（管路均采用EP级电抛光管路），流量控制采用质量流量计（MFC）进口
6控温精度高，温区控温稳定性好；
7具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能 林鑫**************************************青岛奥博仪表设备有限公司青岛市城阳区重庆北路315号Tel: 86-0532-66737508Fax: 86-0532-84905713Mobile: 13698667975QQ: 342766497Email：orbolx@163.com
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