| 起订: 1 250000.00元 | 供货总量: |
| 发货期限: 自买家付款之日起 天内发货 | 所在地: 江苏 扬州市 |
| 有效期至： 长期有效 | 品牌： |
详情介绍
我公司最新研发光刻机有5寸同时曝光 6寸同时曝光套刻 适用于2寸圆片3寸圆片3方片4寸圆片4寸方片5寸方片5寸圆片6寸圆片6寸方片 质量保证 交货及时 可以免费使用半个月
主要技术参数：
1、适用于Φ6"、Φ5"、Φ4" 6寸方片 5寸方片 4寸方片 基片，基片厚度0～5mm均可。
2、采用多点光源曝光头，最大输出光束≥Φ160mm；光束不均匀性≤±7%，（Φ150mm范围内）。
3、光源采用200W直流汞灯。
4、版、片对准精度±0.5μm。
5、采用片动、版不动的对准方式以及三点找平机构。
6、扫描观察范围：±15mm。
7、采用双目视场显微镜，放大倍数50X～375X。也可采用双CCD加液晶监视器来显示，放大倍数30X～189X或67.5X～420X。
8、采用时间继电器（可从0.1秒～999.9秒预设）控制曝光头的气动快门，以实现曝光时间的自动控制。
9、能实现硬接触曝光、软接触曝光及微力接触曝光。
10、电控采用PLC控制，各主要元器件（如电磁阀）均采用进口品牌件
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