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空分设备可以分为5个基本系统：杂质的净化系统：主要是通过空气过滤器和分子筛吸收器等装置，净化空气中混有的机械杂质、水分、二氧化碳、乙炔等。  空气冷却和液化系统：主要由空气压缩机、热交换器、膨胀机和空气节流阀等组成，起到使空气深度冷冻的作用。空气精馏系统：主要部件为精馏塔（上塔、下塔）、冷凝蒸发器、过冷器、液空和液氮节流阀。起到将空气中各种组分分离的作用 加温吹除系统：用加温吹除的方法使净化系统再生。仪表控制系统：通过各种仪表对整个工艺进行控制。氧气在工业生产和日常生活中有广泛的用途因此氧气一般都通过空气分离制取。

深度冷冻技术是当前使用最为广泛的空气分离技术，深冷空分的基本工艺流程是：空气从空气吸入塔进入工艺系统，经过加压后，进入空气预冷塔，用冷却水进行冷却，经冷却后的空气送入纯化系统（MS系统），空气经过纯化系统吸附净化后，除去空气中的水分、CO2和乙炔等部分碳氢化合物。目前我国生产的空分设备有生产气态氧、氮的装置，也有生产液态氧、氮的装置。但就基本流程而言，主要有四种，即高压、中压、高低压和全低压流程。经净化的空气在膨胀机中进行膨胀,温度急剧下降。在分馏塔系统中，经前面工段加压、净化、膨胀的空气将实现分离，最终得到氧气和氮气。空气分离制氧主要工艺 :1.深冷分离工艺: 。 2.变压吸附工艺(PSA):  3.膜分离工艺 

维护及保养：

a、刚开机时，应缓慢开启进气阀门，以防击穿滤芯。

b、 请按滤芯正常使用寿命及时更换。

c、更换滤芯时应将系统内的压力降为零，用专用扳手拧开螺母卸下下体，即可更换。

d、 当发现压差表的指针指向红色区域时，应及时用洁净的压缩空气或氮气回吹，或滤芯。

e. 当发现过滤器内有大里油时,请及时更换滤芯

冷冻干燥机：冷冻式干燥机气源净化原理：利用全封闭压缩式制冷系统，使空压机排出的压缩空气，经过管道过滤器处理后的空气强制冷却降温到5℃，使其中的水汽迅速达到饱和，并使其大部分凝结成水滴，积聚后由排水器排出，并除去部分油分，使其达到相对干燥。

提到深冷技术在国内的展开， 90年代，模具材料行业领军企业“一胜百”找到中科院理化所，经过1年时间的研制，第一台SLX深冷处理箱诞生了，并很快投入到一胜百的实际应用中。随后，理化所又和太原理工大学、兰州理工大学、天津大学、江北机械厂等合作，深冷技术是指-100℃以下的温度，分为化工行业的气体液化技术，以及材料行业的深冷处理。通常用绝热退磁法可得1K以下的低温。将黑色金属、有色金属、高聚物等等材料在深冷温度下保温，使其发生在常温以及热处理过程中不曾发生过的内部结构变化，导致宏观性能的变化。对高速钢、模具钢、铝合金等材料进行了深冷处理研究，总结了大量工艺参数及实践经验。如今，理化所仍在不遗余力的推广着金属深冷处理技术，不同的是深冷处理设备更加先进，工艺更加成熟，在轧辊、刀具、模具等行业得到了广泛的应用。