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l 应用范围可对以下材料进行涂层加工：a. 金属材料：各种纯金属材料，合金材料，不锈钢，电镀器件等。b. 非金属材料：玻璃，陶瓷等。可进行下列各种涂层加工：a.纯金属：金，铂，银，铬，镍，铜，铝等等。b.氮化钛系列：TiN：硬度为2300～2500HV ，磨擦系数为0.65，颜色是金黄色。c.氮化锆系列：ZrN：硬度为2000～2300HV ，磨擦系数为0.55，颜色是青黄色。d.氮（碳）化铬系列：CrN（CrC）：硬度为2000～2300HV ，磨擦系数为0.5。e.碳氮化钛：TiCN：硬度为3000～3500HV ，磨擦系数为0.5，颜色是灰黑色。f.氮化钛铝：TiAlN：硬度为2400～2600HV ，磨擦系数为0.68，颜色是棕-紫黑色。g.其它多种膜层和多层膜 规格及型号(配置) LD-620（A.B） 镀膜室内壁尺寸 ￠800-900×h800-900(mm) 有效镀膜尺寸 ￠700-800×h600-700(mm) 工件旋转挂具 公转+公自转 旋转挂具布置方式 真空室上端 向下安装 挂杆数量 公转4根+公自转8根 旋转速度 0-5转/分钟（公转）调速器调节 可镀工件最大尺寸 ￠150-170×h550-650(mm)自转 用途 工具镀膜+装饰镀膜 被镀工件种类 金属 玻璃 陶瓷 塑料等 可镀膜层种类 TiN TiAlN CrN TiC TiCN 等等 生产场地要求 5×7米 电容量要求 50Hz 380V 60KVA 冷却水要求 ≧3吨/小时循环水 水温25℃ 污染物排放 无 工作噪音 ≤90分贝 真空泵 2X-70粗抽泵+2X-30维持泵 罗茨泵 ZJP-150 扩散泵 KT-400 极限真空度 优于6×10-4 Pa 工作真空度 6.67×10-3 Pa 排气速率 <20分钟（从大气-工作真空） 压升率（漏率） ≤0.35Pa/h 真空室材质 304不锈钢 阴极电弧离子源 6个 电动引弧 间接冷却 靶材尺寸 ￠100×40(mm) 磁控溅射靶 一对（两个） 直接冷却 溅射靶尺寸 w100-150×h600-700(mm) 偏压电源 20KW 20KHz逆变电源 磁控溅射电源 25KW 40KHz 中频脉冲电源 电弧电源 6台 0-200A电流可调 真空室加热功率 15-18KW 温度PID调节 控制模式 自动（A） 手动（B） 自动控制配置 工控机+PLC+LCD+打印机 A----计算机自动控制型 B----控制柜手动操作型 我们可根据您所镀工件的尺寸大小来设计镀膜设备