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发货期限: 自买家付款之日起 天内发货 | 所在地: 山东 青岛市 |
有效期至: 长期有效 | 品牌: |
详情介绍
一、主要用途:供制备薄膜无源微型元件。
二、主要技术指标:蒸发室极限真空度:
4×10-4Pa蒸发室恢复到4×10-3Pa的时间:
≤15min基片旋转架的转速:
0~60r/min基片烘烤温度:
室温~350℃蒸发电极数量:
3对蒸发电极参数:
0~10伏
0~300A离子轰击参数:
0~3000伏
0~200mA钟罩容积:
Φ500×620(mm)需要动力:
电力
10KW外形尺寸:
1300×830×1720(mm
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