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详情介绍
QK-CZ95型单晶炉是为直拉硅单晶生产配备的专用设备。该设备腔体内外采用进口S304L的不锈钢材料均经过热稳定处理。炉子配用软籽晶轴,采用独特的籽晶提升机构,实现了籽晶转速稳定的目的。真空旋转轴密封部位采用磁流体密封技术。主付炉室隔离阀采用水冷新型旋转阀;拱型封头式炉盖、附有掺杂机构的炮筒式付炉室,可在热场维持工艺温度的情况下取出晶体。电源系统控制调节器采用全数字化设计,功能强大;主变采用五芯柱结构,原边调压,具有显著的节能效果;调压、整流部分采用水冷方式;系统具有各种报警及自动停机保护功能。电控系统采用半自动和全自动计算机控制,控制显示采用独特的中英文切换和直观形象的触摸屏界面。系统运行平稳,可靠性高,能实现从等径到收尾拉晶全过程的自动控制;有利于生产无位错、等径均匀、高质量的硅单晶棒。
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