| 起订: 1 台 | 供货总量: |
| 发货期限: 自买家付款之日起 天内发货 | 所在地: 山东 青岛市 |
| 有效期至： 长期有效 | 品牌： |
详情介绍
扩散炉系统设备用途：用于半导体器件、太阳能电池片、电力半导体、纳米材料、LED、光电器件、光导纤维、金属材料，磁性材料等行业的扩散、氧化、烧结、合金的工艺。设备特点：采用积木式组合，控温器、推拉舟、流量计、阀门有多种不同配置供用户选择，层流台有水平和垂直两种选择。主要技术指标：²
扩散炉管数:1-4管/台²
炉管内径Φ90-240 mm(3-6吋)²
恒温区长度:
760-1000mm±1℃(300-800℃)
760-1000mm±0.5℃(800-1250℃)²
单点稳定性: ±1℃/24H(300-800℃)
±0.5℃/24H(800-1250℃)²
气源路数:≤5路²
气源控制:MFC或浮子流量计²
推拉舟速度范围及精度(1-1000)±3mm/min²
控制器部分采用欧姆龙触摸屏和PLC控制。²
推拉舟可配悬臂式,滚珠丝杠式.²
管间干扰±0.5℃²
可配内或外点火氢氧合成点火器。²
净化等级100级
扩散炉管数:1-4管/台²
炉管内径Φ90-240 mm(3-6吋)²
恒温区长度:
760-1000mm±1℃(300-800℃)
760-1000mm±0.5℃(800-1250℃)²
单点稳定性: ±1℃/24H(300-800℃)
±0.5℃/24H(800-1250℃)²
气源路数:≤5路²
气源控制:MFC或浮子流量计²
推拉舟速度范围及精度(1-1000)±3mm/min²
控制器部分采用欧姆龙触摸屏和PLC控制。²
推拉舟可配悬臂式,滚珠丝杠式.²
管间干扰±0.5℃²
可配内或外点火氢氧合成点火器。²
净化等级100级
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