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EX-731 （手動型）規格表

壹.螢光X線控制部:

1.X線源:油浸式小型微小焦點X線管.50KV管電壓，可變管電壓。

2.照射方式：由上而下垂直照射方式。

3.檢出器：比例計數管。

4.濾波器：採用Co和Ni雙濾波器及數位式濾波器，可單一或同時使用。

5.準直儀：Collimator採用五種孔徑一體成型式，可自動切換使用。

0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0ψ㎜.

(選購)0.05×0.5, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5ψ㎜.

(選購)0.05, 0.1, 0.2, 0.3, 0.5ψ㎜.

6.樣品觀測系統：彩色CCD及高畫質顯示幕。

7.多能譜分析器：使用256高頻分析器，光譜自動分析，在執行測量及運算時，非常快速。

貳.電腦操作部:

8.電腦系統：(※僅供參考)

ulenovo相容中文個人電腦.

uCPU：Intel Celeron双核2.7GHz.

uRAM：2GB.

u40倍速DVD-ROM×1.

uHard Disk：500GB.

u17"高畫質LCD顯示幕.

9.印表機：日本EPSON彩色噴墨式印表機。

10.本機型(EX-3000系列)之操作系統採中文視窗(Windows XP)對話式操作，非常簡便。

參.特性說明:

11.測量項目：

w單層膜厚測定.

w2層膜厚測定.

w3層膜厚測定.

w合金膜厚成份比同時測定.

w化學鎳膜厚測定.

w壓鑄鋅底材上鍍銅、鎳二層膜厚同時測定.

w元素的光譜峰值測定分析.

12.測量材質：原子序22(Ti) ~ 82(Pb)為激發法測量。原子序22以下為吸收法測量。

13.測量範圍：原子序22 ~ 24， 約0.2 ~ 20 um.原子序25 ~ 40， 約0.1 ~ 30 um.原子序41 ~ 51， 約0.2 ~ 70 um.原子序52 ~ 82， 約0.05~ 10 um.

14.測量機能：

w同一點重複測定機能

w輸出形式設定.

w能譜測定.

15.測量條件或膜厚規格可以保存.

當要測量相同圖樣軌跡的製品時，若測量條件已儲存時，可以馬上進行測量。

最大檢量線檔案數：可登錄儲存100組檔案。

最大測量檔案數：可登錄儲存300組檔案。

16.檔案記錄：

w每一個批號可儲存無限個測量資料.(因各型電腦之容量大小而定)

w每一個測量檔案可輸入及儲存公司名稱.

w每個批號可單獨執行統計處理.

w每個測量檔案可輸入不同的檢量線(校正曲線).

w每個測量檔案可輸入統計處理方式.

17.資料處理：

w統計值表示：平均值、標準偏差、最大值、最小值、上下限值範圍、Cp、Cpk。

wX-R管制圖.

w柱狀圖：有自動設定及自己任意設定二種方式。

w測量資料輪廓剖面分佈圖。

w測量資料三次元輪廓剖面分佈圖。

w可彩色列印觀物顯示幕上所觀測之圖像。

18.底材補正：當樣品與標準片的底材不同時，可作底材補正。

19.觀物顯示幕：十字刻度線的高解析度彩色觀物顯示幕。

肆.安全裝置.

20.本機俱有自動安全斷電系統功能.

21.由鎖匙開關來控制X線輸出，以防止外人任意操作.

伍.其他機能.

22.密碼辨識功能.

23.裝置維護調整.

陸.設備尺寸：

24.測定部：外觀尺寸：600(W)×465(D)×732(H)㎜.

重量： 約70 Kg.

25.操作部：(※僅供參考)

w電腦主機尺寸：180(W)×420(D)×360(H)㎜.

重量：約8.8 Kg.

w顯示幕尺寸：360(W)×420(D)×370(H)㎜.

重量：約16.5 Kg.

w印表機尺寸：500(W)×250(D)×300(H)㎜.

重量：約4.3 Kg.

26.測量樣品限制.

樣品限制高度：50㎜

樣品限制重量：3kg.

柒. X-Y-Z軸可移動式測量台.

27.測量台尺寸及移動量.

測量台尺寸170×110 mm，

移動量(X-Y-Z軸) 70×70×50㎜.

捌.使用電源.

28.電壓:AC100V±10V；50/60Hz

(選購)AC110V，AC220V.

29.測定主機容量: 700VA.

30.操作主機容量: 300VA.