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 技术:由科研单位生产企业提供 技术简介:详细讲解了最新92项,多晶硅生产技术及工艺光盘(下) 1.低温多晶硅薄膜的制造方法： 2.低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法： 3.多晶硅衬底和太阳能电池的制备方法： 4.制造低温多晶硅晶体管的多晶硅的组合设备工具： 5.一种低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法： 6.用于薄膜晶体管的多晶硅薄膜及使用该多晶硅薄膜的显示器件： 7.多晶硅太阳能电池转换效率的测试方法： 8.一种四氯化硅、多晶硅和石英玻璃的联合制备法： 9.一种功率型多晶硅发射极晶体管： 10.形成多晶硅层的方法以及制造多晶硅薄膜晶体管的方法： 11.制作多晶硅薄膜的方法： 12.多晶硅融化掺氮直拉生长微氮硅单晶的方法： 13.薄膜晶体管的多晶硅层及其显示器： 14.多晶硅薄膜的晶粒尺寸的控制及其检测方法： 15.多晶硅薄膜结晶品质的检测装置及其检测与控制方法： 16.利用准分子激光退火工艺制作多晶硅薄膜的方法： 17.多晶硅层的制作方法： 18.用三氯氢硅和四氯化硅混合源生产多晶硅的方法： 19.多晶硅层的制作方法...........70.利用多晶硅半球的晶粒回蚀刻来形成电容器的方法： 71.具有掺杂多晶硅层构成的互连的半导体器件的制造方法： 72.利用放热反应制备多晶硅的方法： 73.梯形多晶硅插塞及其制造方法： 74.增进多晶硅电阻稳定性的结构及其方法： 75.稳定的多晶硅电阻器和制造它的方法： 76.多晶硅棒及其制造方法： 77.多晶硅的制造方法和装置： 78.多晶硅电阻及其制造方法： 79.多晶硅表面金属杂质的清除： 80.由多晶硅炉料制备熔硅熔料的方法： 81.在多晶硅层表面上的高熔点金属硅化物层的制造方法： 82.用干法刻蚀多晶硅的局部氧化硅法： 83.在多晶硅上具有平滑界面的集成电路： 84.一种多晶硅自对准双极器件及其制造工艺： 85.绝缘层上多晶硅的激光加热再结晶方法： 86.利用准分子激光再结晶工艺来制作多晶硅薄膜的方法： 87.将非晶硅转换为多晶硅的方法： 88.低温多晶硅薄膜电晶体的结构： 89.低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法： 90.低温多晶硅薄膜的制造方法及低温多晶硅薄膜晶体管： 91.多晶硅薄膜晶体管及其制造方法： 92.低温多晶硅薄膜晶体管及其多晶硅层的制造方法： 咨询电话：029-88385287   029-88384123   联系人： 陈刚