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1、存在油蒸汽，因些，当其使用时，工作环境和被处理的产品不会被油污染，是一种使用在严格要求无油蒸汽的工业中最理想的真空设备。
2、 无油真空泵不需要油润滑的真空泵相比，经常性的维护和保养可大减少，不必为缺少真空油，给维修带来诸多不便和烦恼。
3、 无油真空泵采用电机直接连接，结构紧凑，重量轻，外型尺寸小于其它类型泵。
4、 无油真空泵应用多叶片高速转动，避免了吸气各排气中的脉冲波动。
5、 无油真空泵可以敞开大气连续运转。