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EUV(极端紫外光)【13.5nm】「EUV」(Extreme Ultraviolet 极端紫外光源)是美日欧新开发,并引起大众注意的新一代半导体曝光用光

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    北京

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    专业灯具

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产品参数

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详情介绍

EUV(极端紫外光)【13.5nm】「EUV」(Extreme Ultraviolet 极端紫外光源)是美日欧新开发,并引起大众注意的新一代半导体曝光用光源。。在日本研究開發國家計畫的「EUVA」方面、GIGAPHOTON 一同參與推動EUV的開發。此外,具有欧洲顶级研究开发力的德国XTREME 纳入集团,透过日欧坚强的合作开发体制,以及早期达成事业化为目标加速开发。
※有关EUV的咨询,请参阅GIGAPHOTON Inc.或是XTREME technologies GmbH (英文)。
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