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2.绿碳化硅系列 粒度分布(微米)化学指标物理指标粒度号D3最大值粒度中值D50最小粒径D94SiC ≥（%）Fe2O3 ≤(%)F•C ≤(%)PH值堆积密度磁性物含量≤(%)GC#800≤20.014.0±1.0≥9.099.000.200.26--81.180.008GC#1000≤18.311.5±1.0≥7.099.000.200.26--81.150.008GC#1200≤17.59.5±0.8≥5.599.000.200.26--81.130.005GC#1500≤14.58.0±0.6≥4.599.000.200.26--81.120.005GC#1800≤13.57.0±0.6≥4.299.000.200.26--81.050.005GC#2000≤13.06.7±0.6≥4.099.000.200.26--81.000.005 碳化硅又名金刚砂，是用石英砂 ，煤焦油，木屑 ，食盐等原料在电阻炉内经高温冶炼而成，经破碎 酸碱洗 磁选 风选而制成各种粒径的产品，其硬度介于刚玉和金刚石之间，机械强度高于刚玉，该材料具有化学性能稳定，导热系数高， 热膨胀系数小， 耐磨性能好等广泛优点，可广泛用于军工，电子 ，磨料 ，冶金， 耐温材料等行业。本公司生产的碳化硅具有较集中的粒径分布，较高的含量，较高的摩擦能力 ，较少的杂质和水分等优点，主要用于太阳能硅片的多线切割和其它磨料行业。 切割原理：多线切割的过程中，悬浮液（切割液）夹裹着碳化硅磨料喷落在细钢丝上，依赖于细钢丝的高速运动，把研磨液运送到切割区对紧压在钢线上的工件进行切割，随着碳化硅对工件的一次次刻划，逐步把多余的材料带走，是类似于研磨的滚动刻划方法，称为自由研磨切削加工，是针对表面精度，切割产品率，高强度，低脆性要求较高的材料所产用的切割方法，该设备一般为主要依赖进口。
用于硅片切割的碳化硅还具以下特点：1.保证优良的切割性能和稳定的物理状态 2.粒径形状为等积而且刀锋的物衡自锐性，从而保证切割材料TTV的最小化 3.粒径分布集中且均匀 4.有高的热振稳定性和软化温度，这确保了在荷重切割时小的膨胀系数，从而保证切割稳定性，并且和切机有很好等匹配性 5.表面经过特殊处理，微粒具有大的比面积和清洁的外表，与切割液有很好的适配性。
切割的主要参数：钢线张力 ，钢线速度 ，工件的进给速度，砂浆的切割能力。3．使用流程（1）建议该线切片机的钢线一般用0.10或者0.11或者0.12。（2）将型号为1200或1500(注：线开方为800)的砂经过8小时的烘烤，然后常温冷却24小时。（3）用切割液直接加入烘烤的砂，线切片机液与砂的比例为1：0.94—1：0.96。线开方机液与砂比例为1：1.04—1：1.06。（4）同时用专门的密度检测仪检测，边加砂边检测，线切片机砂浆密度为1.635-1.645。线开方的砂浆密度为1.7—1.705。然后开启搅拌机，搅拌砂浆10小时以上，使其充分均匀。严禁砂浆型号乱用和不均匀就开始切割，以提高切割效率，减少机器和硅片的损伤。（5）砂浆的粘度和密度调整到线切机要求后，根据晶棒的尺寸，长度，表面积计算出砂浆的用量，把前一次的废砂浆用隔膜泵抽出，然后在砂浆罐中加入新砂浆。（6）检查切片机的导轮槽和钢线是否紧密配合，有跳线的要用胶带纸带掉，钢线受伤的要把钢线完全走掉，即收线圈。小滑轮和接触轮的带线槽不能太深，深了必须更换新的小滑轮和接触轮，线圈用完的要更换新的线圈，钢线断的用专门的焊锡焊接好，并且走完整个导轮。导轮受伤的，或者使用时间长的，必须更换新的导轮。机器使用两三个月，必须叫机修工保养，用专门的仪器检测驱动皮带，测试其张力是否依旧保持原设定值。（7）安装晶棒。在安装晶棒之前需要把粘棒的A,B胶水用酒精擦掉（不能用丙酮，丙酮会少量溶解导轮），擦不掉的要用薄刀片把胶水刮掉。然后还要看一下黏胶的时间，一般要8小时或者10小时以上。把对应的P1和P2晶棒安装到指定位置，用扭力扳手把夹具和螺丝紧到合适的程度，不能太松也不能太紧，松了会产生线痕片，甚至产生翘曲片。紧了螺丝会断掉，会对最后卸硅片产生困难，导致操作不便，延长时间，从而使砂浆干掉，对硅片清洗产生困难。（8）热机。在热机前先要检查气压表是否正确，循环冷却水是否正常，温度是否满足，砂浆流量是否正常，砂浆是否为瀑布状，砂浆里大颗粒物多不多，是否对过零点，有无跳线，张力是否达到要求，砂浆喷嘴有没有撞到工件和导轮，工件的进给速度是否正确，钢线的平均线速是否正确，工件螺丝是否夹紧。选择适合晶棒的开切程序，比如有树脂条的晶棒，最后切得深度要大一些，确定无误了，然后热机，开切。注：老式机热机要用热机程序，开切用开切程序。新式机热机程序和开切程序为一体，不需要改动，不过热机完后还要检查钢线是否跳线。（9）记录。线切机开切后要记录相关信息，如砂浆流量，密度，温度，工件进给速度，钢线新线用线速度，用线起始位置，如果双向切割的记录平均线速，还有开切时间，切割液型号，切割的刀数号，绿碳化硅型号，厂家，机器代号，切记手的名字等。
用于硅片切割的碳化硅还具以下特点：1.保证优良的切割性能和稳定的物理状态 2.粒径形状为等积而且刀锋的物衡自锐性，从而保证切割材料TTV的最小化 3.粒径分布集中且均匀 4.有高的热振稳定性和软化温度，这确保了在荷重切割时小的膨胀系数，从而保证切割稳定性，并且和切机有很好等匹配性 5.表面经过特殊处理，微粒具有大的比面积和清洁的外表，与切割液有很好的适配性。
切割的主要参数：钢线张力 ，钢线速度 ，工件的进给速度，砂浆的切割能力。3．使用流程（1）建议该线切片机的钢线一般用0.10或者0.11或者0.12。（2）将型号为1200或1500(注：线开方为800)的砂经过8小时的烘烤，然后常温冷却24小时。（3）用切割液直接加入烘烤的砂，线切片机液与砂的比例为1：0.94—1：0.96。线开方机液与砂比例为1：1.04—1：1.06。（4）同时用专门的密度检测仪检测，边加砂边检测，线切片机砂浆密度为1.635-1.645。线开方的砂浆密度为1.7—1.705。然后开启搅拌机，搅拌砂浆10小时以上，使其充分均匀。严禁砂浆型号乱用和不均匀就开始切割，以提高切割效率，减少机器和硅片的损伤。（5）砂浆的粘度和密度调整到线切机要求后，根据晶棒的尺寸，长度，表面积计算出砂浆的用量，把前一次的废砂浆用隔膜泵抽出，然后在砂浆罐中加入新砂浆。（6）检查切片机的导轮槽和钢线是否紧密配合，有跳线的要用胶带纸带掉，钢线受伤的要把钢线完全走掉，即收线圈。小滑轮和接触轮的带线槽不能太深，深了必须更换新的小滑轮和接触轮，线圈用完的要更换新的线圈，钢线断的用专门的焊锡焊接好，并且走完整个导轮。导轮受伤的，或者使用时间长的，必须更换新的导轮。机器使用两三个月，必须叫机修工保养，用专门的仪器检测驱动皮带，测试其张力是否依旧保持原设定值。（7）安装晶棒。在安装晶棒之前需要把粘棒的A,B胶水用酒精擦掉（不能用丙酮，丙酮会少量溶解导轮），擦不掉的要用薄刀片把胶水刮掉。然后还要看一下黏胶的时间，一般要8小时或者10小时以上。把对应的P1和P2晶棒安装到指定位置，用扭力扳手把夹具和螺丝紧到合适的程度，不能太松也不能太紧，松了会产生线痕片，甚至产生翘曲片。紧了螺丝会断掉，会对最后卸硅片产生困难，导致操作不便，延长时间，从而使砂浆干掉，对硅片清洗产生困难。（8）热机。在热机前先要检查气压表是否正确，循环冷却水是否正常，温度是否满足，砂浆流量是否正常，砂浆是否为瀑布状，砂浆里大颗粒物多不多，是否对过零点，有无跳线，张力是否达到要求，砂浆喷嘴有没有撞到工件和导轮，工件的进给速度是否正确，钢线的平均线速是否正确，工件螺丝是否夹紧。选择适合晶棒的开切程序，比如有树脂条的晶棒，最后切得深度要大一些，确定无误了，然后热机，开切。注：老式机热机要用热机程序，开切用开切程序。新式机热机程序和开切程序为一体，不需要改动，不过热机完后还要检查钢线是否跳线。（9）记录。线切机开切后要记录相关信息，如砂浆流量，密度，温度，工件进给速度，钢线新线用线速度，用线起始位置，如果双向切割的记录平均线速，还有开切时间，切割液型号，切割的刀数号，绿碳化硅型号，厂家，机器代号，切记手的名字等。
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