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| 有效期至： 长期有效 | 品牌： |
详情介绍
●用途：
可适用于PVD、CVD技术以金属、半导体靶材制备高密度、高硬度、高亮度、高透明度的单质、化合物膜层。
●特点：
1. 采用先进的逆变技术和IGBT功率开关器件设计;
2. 采用PWM控制技术、恒流特性好、电流控制精确;
3. 自动恒流输出，不随气压变化，提高沉积速率，工艺重复性好;
4. 克服靶中毒，抑制靶材弧光放电及抗短路功能，内置电子电抗，具有极佳的负载匹配能力;
5. LED数码电流、电压显示、清晰直观;
6. 轻巧、高效、节能。同等功率比可控硅电源节约电能40%以上;
7. 模块化设计、全系列产品风冷长期稳定性好，可N+1备份、保障安全生产;
8. 可根据用户量身定做设计制造特种电源系统.
●主要技术项目：
型号Type | SJ—10kw | SJ—20kw | SJ—30kw | SJ—40kw |
输入电源电压频率（V、Hz）三相四线 | AC380+N | AC380+N | AC380+N | AC380+N |
+15%,50/60 | +15%,50/60 | +15%,50/60 | +15%,50/60 | |
输出电流调节范围（A） | 0～15 | 0～30 | 0～45 | 0～60 |
稳流精度 | ≤1% | ≤1% | ≤1% | ≤1% |
额定输出电压（DCV） | 670 | 670 | 670 | 670 |
负载持续率（%） | 85 | 85 | 85 | 85 |
重量（KG） | 25 | 35 | 40 | 70 |
外形尺寸（mm） | 575(D)×480(W)×250(H) | |||
绝缘等级 | B | B | B | B |
效率（%） | 90 | 90 | 90 | 90 |
功率因数COSΦ | 0.93 | 0.93 | 0.93 | 0.93 |
外壳防护等级 | Ip21 | Ip21 | Ip21 | Ip21 |
工作模式 | 恒压、恒流、恒功率可任意选择，常规恒流输出 | |||
外部接口 | 本系列产品，均可设微机式PLC控制 |
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