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高真空排气机组设备特点与技术指标1.真空获得为复合分子泵 机械泵,设备真空度在分子泵泵启动到400HZ后优于3*10-3pa,30分钟以内优于5*10-4pa,极限真空3*10-5pa。
2.机组为可移动台式小车结构,能够满足不通位置排气的需要。
3.机组配备预抽排气系统,可在分子泵不停止的状态下实现换工件·预抽真空·抽高真空的排气流程,缩短了排气时间,有限提高了工作效率。机组配置600升风冷复合分子泵一套爱德华RV-8机械泵一台CF150手动插板阀一台高真空复合真空计一套(包括CF35电离规.KF16热偶规)直径150mm*高200mm真空室一套带脚轮·围板及不锈钢台面的小车1套
2.机组为可移动台式小车结构,能够满足不通位置排气的需要。
3.机组配备预抽排气系统,可在分子泵不停止的状态下实现换工件·预抽真空·抽高真空的排气流程,缩短了排气时间,有限提高了工作效率。机组配置600升风冷复合分子泵一套爱德华RV-8机械泵一台CF150手动插板阀一台高真空复合真空计一套(包括CF35电离规.KF16热偶规)直径150mm*高200mm真空室一套带脚轮·围板及不锈钢台面的小车1套
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