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紫外曝光机

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原装进口MYCRO紫外曝光机，包含EM-5026M1， EM-5086， EM-5026B，EM-5026AM四个型号，是全球领先的光刻系统，该系列紫外曝光机广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域；并且该系列的紫外曝光机已经被众多著名企业、研发中心、研究所和高校采用，作为他们光刻系统的首选；其优秀的技术、精湛的工艺和良好的服务，赢得了广大用户的青睐。

紫外曝光机作为光刻系统，最重要的技术在于以下两个方面：掩模-晶圆片对准，以及将掩模版上的图案复制到晶圆片上，为下一步进行可是或者离子注入工序做好准备。

MYCRO紫外曝光机/光刻系统的曝光方式，是采用可调节压力的接触式曝光，有效降低了光刻胶对掩模版的污染以及掩模版的磨损，从而提高掩模版的寿命。因此，MYCRO紫外曝光机/光刻系统以其极高的性价比而让人印象深刻。